罗茨泵|罗茨油泵|LC罗茨泵-罗茨泵的间隙计算 鸿海泵业

 

罗茨油泵的间隙计算

        近年来，受半导体制造、液晶注入、太阳能电池生产、电子器件等新兴行业和薄膜制备、化工、制药等传统行业的带动，罗茨泵作为核心装备之一，其研制和生产越来越受到重视。罗茨油泵满足了IC装备制造业的工作温度高、长期运转稳定、噪声低、维护简单、清洁无油等众多要求，是很有发展前景的一种干式真空泵。但是，除了加工及装配要求精度高、加工难度大、一次性投入昂贵等制约因素外，其设计理论和制造工艺亟待提高，尤其包括罗茨型线的改善、加工成本的降低、间隙的确定、泄漏量的计算、泵内的热力学分析、转子表面涂层、噪声振动等难点问题，制约了多级罗茨干泵研制和生产。

        间隙设计是多级罗茨干泵设计的重要参数之一。在齿轮泵运转时，间隙受转子和泵腔热变形的影响较大。本文通过分析了多级罗茨干泵内部的传热过程，建立 了工作过程的传热模型。通过接触式和非接触式测温方法，对多点温度进行了测量，获得了热载荷的边界条件。基于ANSYS软件，对泵体及转子轴在稳定运转时 的温度场进行了分析，并采用热结构耦合分析对其热变形进行了计算，得到转子轴和泵腔的热变形量，并绘制了变形云图和曲线。通过上述方法得到的热变形数据， 为确定间隙提供了参考，并为进一步计算干泵在运行时的间隙泄漏量提供了计算依据。

         罗茨油泵在混合压缩 过程中，压缩气体产生热量.随着工作周期的重复，产生的热量积聚起来，并逐渐传递给转子和泵体内壁，造成转子和泵体内壁的温度升高。由于温度的升高，转子 和泵腔将会产生一定的热变形，会影响间隙通道的尺寸。而间隙是干泵设计重要的参数之一，由于存在气体逆向返流现象，间隙的选取会严重影响干泵的极限真空 度、压缩比、容积效率、发热卡死等指标。